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真空專家: 帶有預進氣冷卻裝置的 AERZEN 鼓風機
為(wei)(wei)了實現預進氣(qi)冷卻,殼體(ti)在進氣(qi)側(ce)增加了一個(ge)(ge)插口(原有兩個(ge)(ge),現為(wei)(wei)三個(ge)(ge))。 滑油供應(ying)由(you)濺油潤滑實現。 輸送室由(you)密(mi)(mi)封(feng)裝置真空(kong)密(mi)(mi)封(feng)。 驅動軸由(you)帶有油欄(lan)的(de)兩個(ge)(ge)徑向(xiang)密(mi)(mi)封(feng)環密(mi)(mi)封(feng)。 流動方向(xiang)為(wei)(wei)縱向(xiang),自上而下(xia)。 驅動可以通過直接(jie)耦合也可以通過窄 V 型皮帶來實現(在限制壓力差之下(xia))。
應用 AERZEN mHV 系列鼓風機的特殊優勢:
全球規(gui)模(mo)**的鼓風機系列,有(you) 11 種結(jie)構(gou)尺寸可選
在適用范圍(wei)內,粗略真空可作為(wei)多級(ji)泵座的(de)中間級(ji),或者(zhe)作為(wei)相對于大氣壓力的(de)負(fu)壓級(ji)亦(yi)適用
壓力差(cha)**可達 800 mbar
適用于較高的(de)壓縮比(bi)和 p1/p2 = 5 以(yi)內的(de)粗略真空(kong)范(fan)圍
適于持(chi)續(xu)運(yun)行(xing)且不會造成過(guo)熱問題(ti)
明(ming)顯降低壓縮排氣溫度
無(wu)需其他(ta)必要的閥門(men)、控制器等
適用于所有應用的全能型天才。
帶有密閉式驅動裝置的 AERZEN 鼓風機經過專門設計,可輸送中性(HM 系列)和腐蝕性(CM 系列)氣體,專用于工業高真空技術。 密閉式電機鼓風機始終結合前級泵使用*。
此前級泵(beng)在大氣(qi)壓力條件下(xia)(xia)開始運行(xing)(xing)。
通(tong)常在大約 50 至(zhi) 200 mbar
的(de)條件下(xia)(xia)連接密閉式(shi)電機鼓風(feng)機,然后泵(beng)送流程啟動(dong)。 根據應用(yong)的(de)不同(tong),可(ke)(ke)以(yi)使(shi)用(yong)液環泵(beng)、滑片(pian)式(shi)真(zhen)空泵(beng)、螺桿(gan)真(zhen)空泵(beng)或鼓風(feng)機作為(wei)前級泵(beng)。 配有
AERZEN 變頻器(qi)并使(shi)用(yong)專用(yong)參數集(ji)時,前級泵(beng)也可(ke)(ke)以(yi)在大氣(qi)壓力條件下(xia)(xia)運行(xing)(xing)。
應用領域
半導體行業
微電子工業
平面屏幕制造
激光技術
太陽能技術
氦檢漏裝置
化學工藝技術
箔紙和玻璃噴漆
熔爐制造
氫的提取
*使用帶有密閉式驅動裝置的 AERZEN 真空(kong)鼓風機時,必須配備(bei)額外的前(qian)級泵(beng)(多(duo)級系統)。
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