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一、技術參數：

結構形(xing)式                          正(zheng)排量風機

體積流量                          110 止于(yu)  15.570 m3/h

介質(zhi)                                 空氣 , 中性氣體(ti) , 腐蝕性氣體(ti)

輸送(song)                                無(wu)油

FINAL VACUUM              **表壓（單位：10^-5mbar）

PRESSURE DIFFERENCE   **表壓（單位：10^-5 - 200mbar）

二、概述：

適用于工業(ye)高(gao)真空技術的(de)正(zheng)排量風機。

帶有密閉(bi)式(shi)驅(qu)動裝置的 AERZEN 鼓(gu)風機經(jing)過(guo)專(zhuan)門(men)設計(ji)(ji)，可輸送中性（HM 設計(ji)(ji)）和腐蝕性（CM 設計(ji)(ji)）氣體，用于(yu)工業高真(zhen)空技術。 此系列的特點(dian)是(shi)高能效和高可靠性。

適用于腐蝕性氣體的 CM 系列版本：

• AERZEN CM 系列共可選 14 種結構尺寸，適(shi)用(yong)的(de)理論(lun)進(jin)氣流(liu)量范(fan)圍從 110 m3/h 到 15,340 m3/h，適(shi)用(yong)的(de)壓力范(fan)圍在(zai) 10^-5 mbar **壓力以內。 產品優勢(shi)一(yi)覽：

• 通過(guo) ATEX 0 區認證(zheng)（內部）

• 4 種(zhong)不同電(dian)機變(bian)體，實現**選擇

• 機械負載較(jiao)高（高達 150 mbar），因此(ci)縮短了泵送時間

• 僅消耗極少水、氮和油

• 適用于凈室環境應用

• 借助(zhu)變(bian)頻(pin)器實現較大的控制范圍（從(cong) 1.450 到 7.400 rpm，或(huo)從(cong) 1.240 到 2.900 rpm）

• 可選擇縱向(xiang)(xiang)或水平輸送方向(xiang)(xiang)

適用于中性氣體的 HM 系列版本：

• AERZEN HM 系列可選 9 種結構尺寸，在 10^-5 mbar 的**真空(kong)壓力條件下，適(shi)用(yong)的理論進(jin)氣流量(liang)范圍從(cong) 406 m3/h 到(dao) 15,570 m3/h。 產品優勢一覽：

• 4 種不同電機(ji)變體，實現**選擇

• 機械強度較高（HM 系列(lie)高達 230 mbar），因而(er)大幅縮短泵送時間

• 耗水量、耗氮量低

• 適用于凈室環境應用

• 借助(zhu)變頻器實現較大的控制(zhi)范圍(wei)，各項(xiang)參數(shu)針對(dui) AERZEN 密閉式電機鼓風(feng)機進行過調(diao)整，卓有成效(xiao)

• 可選擇縱向或水平(ping)流動方向

三、性能：

AERZEN 密閉(bi)式電(dian)機鼓風機大(da)幅縮短泵(beng)送(song)時間，從而提高了產(chan)量。 這是工藝優化的一大(da)進步。

設計與結構

AERZEN 真空(kong)泵的(de)殼體(ti)法蘭之處配有 O 形圈密(mi)封(feng)(feng)件。 風(feng)機(ji)頭還有真空(kong)密(mi)閉性和(he)空(kong)氣冷卻等其他重要優勢。 由濺油潤滑裝置提供潤滑油。 礦物油和(he) PFPE 油都可(ke)以(yi)作為潤滑劑，PFPE 油通(tong)常用(yong)于半導體(ti)技術(shu)。 密(mi)閉式電機(ji)鼓風(feng)機(ji)在輸送室和(he)軸(zhou)承(cheng)室配有專用(yong)的(de)矩形圓環—迷宮—密(mi)封(feng)(feng)件。 另外還安裝了一個配有冷凝通(tong)道(dao)的(de)大尺寸中(zhong)和(he)室。 或者，中(zhong)和(he)室可(ke)以(yi)用(yong)密(mi)封(feng)(feng)氣體(ti)沖(chong)洗，以(yi)實現(xian)更強的(de)密(mi)封(feng)(feng)效果(guo)。 一體(ti)化密(mi)閉式電機(ji)可(ke)確(que)保對驅動軸(zhou)的(de)密(mi)封(feng)(feng)。 因此無需連接大氣的(de)軸(zhou)通(tong)道(dao)，從而(er)可(ke)以(yi)從技術(shu)上實現(xian)明顯(xian)更高(gao)的(de)轉速。

四、應(ying)用：

帶有密閉式驅動裝置的 AERZEN 鼓風機經過專門設計，可輸送中性（HM 系列）和腐蝕性（CM 系列）氣體，專用于工業高真空技術。 密閉式電機鼓風機始終結合前級泵使用*。 
此前(qian)級(ji)泵(beng)在大氣(qi)壓力(li)條(tiao)(tiao)件下(xia)開始運(yun)行(xing)。 通常在大約(yue) 50 至 200 mbar 的條(tiao)(tiao)件下(xia)連接密閉式(shi)電機鼓風機，然后泵(beng)送(song)流程啟動。 根據應用(yong)的不(bu)同，可(ke)以使用(yong)液環泵(beng)、滑片式(shi)真(zhen)空泵(beng)、螺(luo)桿(gan)真(zhen)空泵(beng)或鼓風機作為(wei)前(qian)級(ji)泵(beng)。 配有(you) AERZEN 變頻(pin)器并使用(yong)專用(yong)參數(shu)集時(shi)，前(qian)級(ji)泵(beng)也可(ke)以在大氣(qi)壓力(li)條(tiao)(tiao)件下(xia)運(yun)行(xing)。

應用領域

• 半導體行業

• 微電子工業

• 平面屏幕制造

• 激光技術

• 太陽能技術

• 氦檢漏裝置

• 化學工藝技術

• 箔紙和玻璃噴漆

• 熔爐制造

• 氫的提取

*使用帶有密(mi)閉式(shi)驅動(dong)裝置的(de) AERZEN 真空鼓風機時，必須配備額外的(de)前級泵(beng)（多(duo)級系統(tong)）。