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一、技術參數:
結構形式 正排(pai)量(liang)風機(ji)
體積流量 110 止于(yu) 15.570 m3/h
介(jie)質 空氣(qi) , 中性氣(qi)體(ti) , 腐(fu)蝕性氣(qi)體(ti)
輸送 無油
FINAL VACUUM **表壓(單位:10^-5mbar)
PRESSURE DIFFERENCE **表壓(單位:10^-5 - 200mbar)
二、概述:
適用于(yu)工業高真(zhen)空技術的正(zheng)排量風機。
帶有密閉(bi)式驅動裝置的(de) AERZEN 鼓(gu)風機(ji)經過專門設(she)計,可輸送中(zhong)性(xing)(HM 設(she)計)和(he)腐(fu)蝕性(xing)(CM 設(she)計)氣體,用于工業高(gao)真(zhen)空技術。 此系列的(de)特點是(shi)高(gao)能效和(he)高(gao)可靠(kao)性(xing)。
適用于腐蝕性氣體的 CM 系列版本:
AERZEN CM 系列共可選 14 種(zhong)結構尺(chi)寸,適用的(de)理論進氣流量范(fan)圍從 110 m3/h 到 15,340 m3/h,適用的(de)壓(ya)力范(fan)圍在 10^-5 mbar **壓(ya)力以(yi)內(nei)。 產品優勢一覽:
通過 ATEX 0 區認證(zheng)(內(nei)部)
4 種不同電機變體,實(shi)現(xian)**選擇
機械(xie)負(fu)載較高(高達 150 mbar),因(yin)此縮短了泵送時間
僅消耗極少水、氮和油
適用于凈室環境應用
借助(zhu)變頻器實現較大的控制(zhi)范圍(從 1.450 到 7.400 rpm,或從 1.240 到 2.900 rpm)
可選擇(ze)縱向(xiang)或水平輸送方(fang)向(xiang)
適用于中性氣體的 HM 系列版本:
AERZEN HM 系列可(ke)選 9 種結構尺(chi)寸,在 10^-5 mbar 的(de)**真空(kong)壓力條(tiao)件下(xia),適用的(de)理(li)論進氣流量范圍從(cong) 406 m3/h 到 15,570 m3/h。 產品優勢一覽:
4 種不同電機變體(ti),實現**選擇
機械(xie)強度較高(HM 系列高達(da) 230 mbar),因而大幅(fu)縮短泵(beng)送時間
耗水量、耗氮量低
適用于凈室環境應用
借(jie)助(zhu)變頻器實現(xian)較大的控制范圍(wei),各項參數針(zhen)對 AERZEN 密(mi)閉式電機(ji)(ji)鼓風機(ji)(ji)進行過調(diao)整(zheng),卓有成效
可選(xuan)擇縱向或水平流動方向
三、性能:
AERZEN 密閉式電機鼓風機大幅縮短泵送(song)時間,從(cong)而提高了產量。 這是工藝優化的一大進步。
設計與結構
AERZEN 真空(kong)(kong)泵的(de)(de)(de)殼體(ti)法蘭(lan)之(zhi)處(chu)配(pei)有 O 形(xing)圈密(mi)封(feng)(feng)件(jian)。 風機(ji)頭還有真空(kong)(kong)密(mi)閉性和(he)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)冷(leng)卻等其(qi)他(ta)重要優勢(shi)。 由(you)濺(jian)油潤(run)滑裝(zhuang)(zhuang)置提供潤(run)滑油。 礦物油和(he) PFPE 油都可(ke)(ke)以作為潤(run)滑劑(ji),PFPE 油通(tong)(tong)常(chang)用于半導體(ti)技術。 密(mi)閉式電機(ji)鼓風機(ji)在輸送(song)室(shi)和(he)軸(zhou)承室(shi)配(pei)有專用的(de)(de)(de)矩形(xing)圓環(huan)—迷宮—密(mi)封(feng)(feng)件(jian)。 另(ling)外還安(an)裝(zhuang)(zhuang)了一(yi)(yi)個配(pei)有冷(leng)凝通(tong)(tong)道的(de)(de)(de)大尺寸(cun)中和(he)室(shi)。 或者,中和(he)室(shi)可(ke)(ke)以用密(mi)封(feng)(feng)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)沖洗,以實(shi)現更強的(de)(de)(de)密(mi)封(feng)(feng)效果(guo)。 一(yi)(yi)體(ti)化密(mi)閉式電機(ji)可(ke)(ke)確保對驅動(dong)軸(zhou)的(de)(de)(de)密(mi)封(feng)(feng)。 因此無(wu)需連接(jie)大氣(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)軸(zhou)通(tong)(tong)道,從而(er)可(ke)(ke)以從技術上實(shi)現明顯更高的(de)(de)(de)轉速。
四、應用:
帶有密閉式驅動裝置的 AERZEN 鼓風機經過專門設計,可輸送中性(HM 系列)和腐蝕性(CM 系列)氣體,專用于工業高真空技術。 密閉式電機鼓風機始終結合前級泵使用*。
此前級泵(beng)(beng)(beng)(beng)在(zai)大氣壓(ya)力條(tiao)件下(xia)(xia)(xia)開始(shi)運行(xing)(xing)。 通常在(zai)大約(yue) 50 至(zhi) 200 mbar 的條(tiao)件下(xia)(xia)(xia)連接密閉式電機(ji)鼓風機(ji),然后泵(beng)(beng)(beng)(beng)送流(liu)程啟動。 根據應(ying)用的不同,可以使用液(ye)環泵(beng)(beng)(beng)(beng)、滑片式真空(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)、螺桿真空(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)或鼓風機(ji)作為前級泵(beng)(beng)(beng)(beng)。 配有 AERZEN 變(bian)頻器并使用專(zhuan)用參數集(ji)時,前級泵(beng)(beng)(beng)(beng)也可以在(zai)大氣壓(ya)力條(tiao)件下(xia)(xia)(xia)運行(xing)(xing)。
應用領域
半導體行業
微電子工業
平面屏幕制造
激光技術
太陽能技術
氦檢漏裝置
化學工藝技術
箔紙和玻璃噴漆
熔爐制造
氫的提取
*使用帶有密閉式驅動裝(zhuang)置的 AERZEN 真空鼓風機時,必須配(pei)備額外的前(qian)級(ji)(ji)泵(beng)(多級(ji)(ji)系(xi)統)。
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