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一、技術參數:
結構形式 正(zheng)排量風機
體積流量 110 止(zhi)于 15.570 m3/h
介質 空氣 , 中性氣體 , 腐(fu)蝕性氣體
輸送 無油
FINAL VACUUM **表壓(單位:10^-5mbar)
PRESSURE DIFFERENCE **表壓(單位:10^-5 - 200mbar)
二、概述:
適用于工(gong)業(ye)高真空(kong)技術的正(zheng)排量風機(ji)。
帶有(you)密閉式驅(qu)動裝置的 AERZEN 鼓(gu)風機經過(guo)專門設(she)計,可(ke)輸送中性(xing)(HM 設(she)計)和(he)腐(fu)蝕(shi)性(xing)(CM 設(she)計)氣體,用于工(gong)業高真空技術。 此系列的特點是高能效和(he)高可(ke)靠性(xing)。
適用于腐蝕性氣體的 CM 系列版本:
AERZEN CM 系列共(gong)可選 14 種(zhong)結構尺寸,適用的理論(lun)進(jin)氣流量范(fan)(fan)圍(wei)從 110 m3/h 到 15,340 m3/h,適用的壓力范(fan)(fan)圍(wei)在 10^-5 mbar **壓力以內。 產(chan)品優(you)勢一覽:
通過 ATEX 0 區(qu)認證(內部)
4 種不(bu)同電(dian)機(ji)變體(ti),實現**選擇
機械負載較高(高達 150 mbar),因此縮短了泵送(song)時間
僅消耗極少水(shui)、氮和(he)油(you)
適用于凈室環境應用
借助變頻器實現(xian)較(jiao)大(da)的(de)控(kong)制范圍(從(cong) 1.450 到 7.400 rpm,或從(cong) 1.240 到 2.900 rpm)
可選擇縱(zong)向(xiang)或水平(ping)輸送方向(xiang)
適用于中性氣體的 HM 系列版本:
AERZEN HM 系列可選 9 種結構尺(chi)寸,在 10^-5 mbar 的**真空(kong)壓力條件下,適用(yong)的理論進氣流量范(fan)圍從(cong) 406 m3/h 到 15,570 m3/h。 產品優勢一覽:
4 種不同電機(ji)變體,實現**選擇
機械強度較高(HM 系列高達 230 mbar),因而大(da)幅縮短泵(beng)送時間
耗水量、耗氮量低
適用于凈室環境應用
借助(zhu)變頻器實現較大的(de)控制范圍,各項參數針對 AERZEN 密閉式(shi)電機(ji)鼓(gu)風機(ji)進行過調(diao)整,卓有(you)成效
可(ke)選擇(ze)縱(zong)向(xiang)或(huo)水平流動(dong)方向(xiang)
三(san)、性能:
AERZEN 密閉式電(dian)機鼓風機大(da)幅(fu)縮(suo)短(duan)泵送(song)時間,從而提高了(le)產量。 這是(shi)工藝優化的(de)一(yi)大(da)進步(bu)。
設計與結構
AERZEN 真(zhen)空(kong)泵(beng)的(de)殼體(ti)法蘭之處配(pei)有(you) O 形圈密(mi)(mi)封件(jian)。 風(feng)機頭還有(you)真(zhen)空(kong)密(mi)(mi)閉(bi)(bi)性和(he)空(kong)氣冷卻(que)等其(qi)他重要優勢。 由(you)濺油(you)潤滑裝(zhuang)置(zhi)提(ti)供潤滑油(you)。 礦(kuang)物油(you)和(he) PFPE 油(you)都可(ke)以(yi)作為潤滑劑,PFPE 油(you)通(tong)常用于半導體(ti)技術。 密(mi)(mi)閉(bi)(bi)式(shi)電(dian)機鼓(gu)風(feng)機在輸送室和(he)軸承室配(pei)有(you)專用的(de)矩(ju)形圓(yuan)環(huan)—迷宮—密(mi)(mi)封件(jian)。 另外還安裝(zhuang)了(le)一(yi)個配(pei)有(you)冷凝通(tong)道的(de)大尺寸中和(he)室。 或者,中和(he)室可(ke)以(yi)用密(mi)(mi)封氣體(ti)沖洗,以(yi)實現更強的(de)密(mi)(mi)封效果。 一(yi)體(ti)化(hua)密(mi)(mi)閉(bi)(bi)式(shi)電(dian)機可(ke)確保對驅(qu)動軸的(de)密(mi)(mi)封。 因此(ci)無需連接大氣的(de)軸通(tong)道,從而可(ke)以(yi)從技術上實現明顯更高的(de)轉速。
四、應用:
帶有密閉式驅動裝置的 AERZEN 鼓風機經過專門設計,可輸送中性(HM 系列)和腐蝕性(CM 系列)氣體,專用于工業高真空技術。 密閉式電機鼓風機始終結合前級泵使用*。
此前級泵(beng)在(zai)大(da)氣壓力(li)條件(jian)下(xia)開(kai)始(shi)運行(xing)。 通常(chang)在(zai)大(da)約 50 至 200 mbar 的條件(jian)下(xia)連接密閉(bi)式電(dian)機鼓風(feng)機,然后泵(beng)送流程(cheng)啟動(dong)。 根(gen)據(ju)應用(yong)的不同(tong),可(ke)以使用(yong)液環泵(beng)、滑片式真(zhen)空泵(beng)、螺(luo)桿真(zhen)空泵(beng)或(huo)鼓風(feng)機作為前級泵(beng)。 配有 AERZEN 變頻器并使用(yong)專用(yong)參數集時,前級泵(beng)也可(ke)以在(zai)大(da)氣壓力(li)條件(jian)下(xia)運行(xing)。
應用領域
半導體行業
微電子工業
平面屏幕制造
激光技術
太陽能技術
氦檢漏裝置
化學工藝技術
箔紙和玻璃噴漆
熔爐制造
氫的提取
*使(shi)用帶(dai)有密(mi)閉式驅動裝置(zhi)的 AERZEN 真(zhen)空鼓風機時,必須配備額外(wai)的前級(ji)泵(beng)(多級(ji)系統)。
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