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一、技術參數：

結構(gou)形式                          正排量風機(ji)

體積流量                          110 止于  15.570 m3/h

介質(zhi)                                 空氣(qi) , 中性氣(qi)體 , 腐蝕性氣(qi)體

輸(shu)送                                無油

FINAL VACUUM              **表壓（單位：10^-5mbar）

PRESSURE DIFFERENCE   **表壓（單位：10^-5 - 200mbar）

二、概述：

適用于工業(ye)高真(zhen)空(kong)技(ji)術的正排量風機。

帶有密閉(bi)式驅(qu)動裝(zhuang)置的 AERZEN 鼓(gu)風機(ji)經過(guo)專門設(she)(she)計(ji)，可(ke)輸送中(zhong)性(xing)（HM 設(she)(she)計(ji)）和腐(fu)蝕性(xing)（CM 設(she)(she)計(ji)）氣(qi)體，用于工業(ye)高真空技術。 此系(xi)列(lie)的特點是高能效(xiao)和高可(ke)靠性(xing)。

適用于腐蝕性氣體的 CM 系列版本：

• AERZEN CM 系列共可選 14 種結構尺寸(cun)，適用(yong)的理論進氣流量范圍從(cong) 110 m3/h 到 15,340 m3/h，適用(yong)的壓力(li)范圍在 10^-5 mbar **壓力(li)以內(nei)。 產品優(you)勢(shi)一覽：

• 通過 ATEX 0 區認證（內部）

• 4 種不同電機(ji)變體，實現**選擇

• 機(ji)械負載較高（高達 150 mbar），因(yin)此縮短了(le)泵送時間(jian)

• 僅消耗極少水、氮和油(you)

• 適用于凈室環境應用

• 借助(zhu)變頻器實現(xian)較大(da)的(de)控制范(fan)圍（從(cong) 1.450 到 7.400 rpm，或(huo)從(cong) 1.240 到 2.900 rpm）

• 可(ke)選擇縱(zong)向(xiang)或水(shui)平輸(shu)送方向(xiang)

適用于中性氣體的 HM 系列版本：

• AERZEN HM 系(xi)列可(ke)選(xuan) 9 種(zhong)結構尺寸，在 10^-5 mbar 的**真空壓(ya)力條件下，適用的理論進氣流(liu)量范圍(wei)從 406 m3/h 到 15,570 m3/h。 產品優勢一覽：

• 4 種不同(tong)電機(ji)變體，實(shi)現(xian)**選擇(ze)

• 機械強度較高(gao)（HM 系(xi)列(lie)高(gao)達 230 mbar），因(yin)而(er)大幅(fu)縮短(duan)泵送時間

• 耗水量、耗氮量低

• 適用于凈室環境應用

• 借助(zhu)變頻(pin)器實現較大的控制范圍，各項參數針對 AERZEN 密閉式電機鼓風機進(jin)行過調(diao)整，卓有成效(xiao)

• 可選擇縱(zong)向或水平(ping)流動方向

三、性能：

AERZEN 密閉式電機(ji)鼓風機(ji)大(da)幅縮(suo)短(duan)泵送時(shi)間，從而提(ti)高了產量。 這是工藝優化(hua)的一大(da)進步。

設計與結構

AERZEN 真空泵的(de)殼體(ti)(ti)法蘭(lan)之(zhi)處配有(you) O 形(xing)圈密(mi)封(feng)(feng)件。 風(feng)機頭還(huan)有(you)真空密(mi)閉(bi)性和(he)空氣冷(leng)卻等其他重要優勢(shi)。 由濺油(you)潤滑裝(zhuang)置提供(gong)潤滑油(you)。 礦物(wu)油(you)和(he) PFPE 油(you)都可以(yi)(yi)作(zuo)為潤滑劑，PFPE 油(you)通常用(yong)(yong)(yong)于半導體(ti)(ti)技術(shu)。 密(mi)閉(bi)式電機鼓風(feng)機在輸送室和(he)軸(zhou)承(cheng)室配有(you)專(zhuan)用(yong)(yong)(yong)的(de)矩形(xing)圓環—迷宮—密(mi)封(feng)(feng)件。 另外還(huan)安裝(zhuang)了一個配有(you)冷(leng)凝(ning)通道(dao)的(de)大尺寸中(zhong)和(he)室。 或者，中(zhong)和(he)室可以(yi)(yi)用(yong)(yong)(yong)密(mi)封(feng)(feng)氣體(ti)(ti)沖洗(xi)，以(yi)(yi)實現更強(qiang)的(de)密(mi)封(feng)(feng)效果。 一體(ti)(ti)化密(mi)閉(bi)式電機可確(que)保對驅動軸(zhou)的(de)密(mi)封(feng)(feng)。 因此無需連(lian)接大氣的(de)軸(zhou)通道(dao)，從而可以(yi)(yi)從技術(shu)上實現明(ming)顯更高的(de)轉速。

四、應用(yong)：

帶有密閉式驅動裝置的 AERZEN 鼓風機經過專門設計，可輸送中性（HM 系列）和腐蝕性（CM 系列）氣體，專用于工業高真空技術。 密閉式電機鼓風機始終結合前級泵使用*。 
此前(qian)級泵在(zai)(zai)大氣(qi)壓(ya)力(li)條件(jian)(jian)下開始運(yun)行(xing)。 通常在(zai)(zai)大約 50 至 200 mbar 的(de)條件(jian)(jian)下連(lian)接(jie)密閉式電機(ji)鼓(gu)風(feng)機(ji)，然(ran)后泵送流程啟動。 根據應用(yong)的(de)不(bu)同，可以(yi)(yi)使用(yong)液環泵、滑片式真空泵、螺桿真空泵或鼓(gu)風(feng)機(ji)作為前(qian)級泵。 配有 AERZEN 變頻器(qi)并使用(yong)專用(yong)參數集時，前(qian)級泵也可以(yi)(yi)在(zai)(zai)大氣(qi)壓(ya)力(li)條件(jian)(jian)下運(yun)行(xing)。

應用領域

• 半導體行業

• 微電子工業

• 平面屏幕制造

• 激光技術

• 太陽能技術

• 氦檢漏裝置

• 化學工藝技術

• 箔紙和玻璃噴漆

• 熔爐制造

• 氫的提取

*使(shi)用帶有密閉式驅動裝置(zhi)的(de) AERZEN 真空鼓風機(ji)時，必須配備額外的(de)前級(ji)泵（多級(ji)系統）。