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一、技術參數：

結構形(xing)式                          正排量風機

體積流量                          110 止于  15.570 m3/h

介質                                 空氣(qi) , 中性(xing)氣(qi)體 , 腐蝕性(xing)氣(qi)體

輸送                                無油

FINAL VACUUM              **表壓（單位：10^-5mbar）

PRESSURE DIFFERENCE   **表壓（單位：10^-5 - 200mbar）

二、概述：

適用于(yu)工(gong)業高(gao)真空技術的(de)正排量風機。

帶有密閉式驅動裝置的(de) AERZEN 鼓風機經過專門設(she)計，可輸送中性(xing)（HM 設(she)計）和腐蝕(shi)性(xing)（CM 設(she)計）氣體(ti)，用于工業高(gao)真空技術。 此系(xi)列的(de)特點是高(gao)能(neng)效(xiao)和高(gao)可靠性(xing)。

適用于腐蝕性氣體的 CM 系列版本：

• AERZEN CM 系列共(gong)可選 14 種結構(gou)尺(chi)寸，適(shi)用的理(li)論(lun)進氣流量范圍(wei)從(cong) 110 m3/h 到 15,340 m3/h，適(shi)用的壓(ya)力范圍(wei)在 10^-5 mbar **壓(ya)力以內。 產品優勢(shi)一覽：

• 通(tong)過 ATEX 0 區認證（內部）

• 4 種(zhong)不同電機(ji)變體，實現**選擇(ze)

• 機(ji)械(xie)負載較高(gao)（高(gao)達 150 mbar），因(yin)此縮短了泵送時間

• 僅(jin)消耗極(ji)少水、氮和油

• 適用于凈室環境應用

• 借助變頻器實現較(jiao)大的控(kong)制范(fan)圍（從 1.450 到 7.400 rpm，或從 1.240 到 2.900 rpm）

• 可選擇縱向或水平輸送(song)方向

適用于中性氣體的 HM 系列版本：

• AERZEN HM 系列可選 9 種結構尺寸，在(zai) 10^-5 mbar 的(de)(de)**真空壓(ya)力(li)條(tiao)件下(xia)，適用的(de)(de)理論進氣流(liu)量范圍(wei)從(cong) 406 m3/h 到 15,570 m3/h。 產(chan)品優(you)勢一覽：

• 4 種不(bu)同電(dian)機變體，實現(xian)**選擇

• 機械強度較高（HM 系(xi)列高達(da) 230 mbar），因而大幅縮短泵送(song)時間(jian)

• 耗水量、耗氮量低

• 適用于凈室環境應用

• 借助變頻(pin)器實現較大的控(kong)制范圍(wei)，各項參數針對 AERZEN 密閉式電機(ji)鼓風機(ji)進行過調整，卓(zhuo)有成效

• 可選擇縱向或水平流動方向

三、性能(neng)：

AERZEN 密閉式電機(ji)鼓(gu)風機(ji)大幅縮(suo)短泵送時間，從而(er)提高了產量(liang)。 這是工藝優化的一大進步。

設計與結構

AERZEN 真空(kong)泵的(de)殼體(ti)法蘭之處配有 O 形圈(quan)密封件(jian)。 風機頭(tou)還(huan)有真空(kong)密閉性和(he)空(kong)氣(qi)冷卻等其(qi)他(ta)重要優勢。 由濺油(you)潤滑裝置提供潤滑油(you)。 礦物油(you)和(he) PFPE 油(you)都(dou)可以作為(wei)潤滑劑，PFPE 油(you)通(tong)常用(yong)于半(ban)導體(ti)技術。 密閉式電(dian)(dian)機鼓(gu)風機在輸送(song)室(shi)和(he)軸承室(shi)配有專用(yong)的(de)矩形圓環—迷宮—密封件(jian)。 另(ling)外還(huan)安裝了一個(ge)配有冷凝通(tong)道(dao)的(de)大尺寸中和(he)室(shi)。 或者，中和(he)室(shi)可以用(yong)密封氣(qi)體(ti)沖洗，以實現(xian)更(geng)強的(de)密封效(xiao)果。 一體(ti)化(hua)密閉式電(dian)(dian)機可確保對驅動軸的(de)密封。 因(yin)此(ci)無需連接大氣(qi)的(de)軸通(tong)道(dao)，從而可以從技術上(shang)實現(xian)明顯更(geng)高的(de)轉速。

四、應(ying)用：

帶有密閉式驅動裝置的 AERZEN 鼓風機經過專門設計，可輸送中性（HM 系列）和腐蝕性（CM 系列）氣體，專用于工業高真空技術。 密閉式電機鼓風機始終結合前級泵使用*。 
此前級泵(beng)在大氣壓力條(tiao)件下(xia)開始運(yun)行(xing)。 通常在大約 50 至 200 mbar 的條(tiao)件下(xia)連接密閉(bi)式電機(ji)鼓風機(ji)，然后泵(beng)送(song)流程啟(qi)動。 根據(ju)應(ying)用的不(bu)同，可以(yi)使(shi)用液環泵(beng)、滑片(pian)式真空泵(beng)、螺桿真空泵(beng)或(huo)鼓風機(ji)作為前級泵(beng)。 配有 AERZEN 變頻器并(bing)使(shi)用專用參數集時，前級泵(beng)也可以(yi)在大氣壓力條(tiao)件下(xia)運(yun)行(xing)。

應用領域

• 半導體行業

• 微電子工業

• 平面屏幕制造

• 激光技術

• 太陽能技術

• 氦檢漏裝置

• 化學工藝技術

• 箔紙和玻璃噴漆

• 熔爐制造

• 氫的提取

*使用(yong)帶(dai)有密閉式驅動裝(zhuang)置的 AERZEN 真空鼓風機(ji)時，必(bi)須(xu)配備額(e)外的前(qian)級(ji)(ji)泵（多級(ji)(ji)系統）。