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艾珍機械設備制造(上海)有限公司
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產品詳情
密閉式電機鼓風機
參考報價:
面議
品牌:
AERZEN
關注度:
1121
樣本:
暫無
型號:
AERZEN
產地:
德國
信息完整度:
典型用戶:
半導體行業 微電子工業 平面屏幕制造 激光技術 太陽能技術 氦檢漏裝置 化學工藝技術 箔紙和玻璃噴漆 熔爐制造 氫的提取
產品簡介

一、技術參數:

結構形式                          正(zheng)排量風機

體積流量                          110 止(zhi)于  15.570 m3/h

介質                                 空氣 , 中性氣體 , 腐(fu)蝕性氣體

輸送                                無油

FINAL VACUUM              **表壓(單位:10^-5mbar

PRESSURE DIFFERENCE   **表壓(單位:10^-5 - 200mbar

二、概述:

適用于工(gong)業(ye)高真空(kong)技術的正(zheng)排量風機(ji)。

帶有(you)密閉式驅(qu)動裝置的 AERZEN 鼓(gu)風機經過(guo)專門設(she)計,可(ke)輸送中性(xing)(HM 設(she)計)和(he)腐(fu)蝕(shi)性(xing)(CM 設(she)計)氣體,用于工(gong)業高真空技術。 此系列的特點是高能效和(he)高可(ke)靠性(xing)。

適用于腐蝕性氣體的 CM 系列版本:

  • AERZEN CM 系列共(gong)可選 14 種(zhong)結構尺寸,適用的理論(lun)進(jin)氣流量范(fan)(fan)圍(wei)從 110 m3/h 到 15,340 m3/h,適用的壓力范(fan)(fan)圍(wei)在 10^-5 mbar **壓力以內。 產(chan)品優(you)勢一覽:

  • 通過 ATEX 0 區(qu)認證(內部)

  • 4 種不(bu)同電(dian)機(ji)變體(ti),實現**選擇

  • 機械負載較高(高達 150 mbar),因此縮短了泵送(song)時間

  • 僅消耗極少水(shui)、氮和(he)油(you)

  • 適用于凈室環境應用

  • 借助變頻器實現(xian)較(jiao)大(da)的(de)控(kong)制范圍(從(cong) 1.450 到 7.400 rpm,或從(cong) 1.240 到 2.900 rpm)

  • 可選擇縱(zong)向(xiang)或水平(ping)輸送方向(xiang)

適用于中性氣體的 HM 系列版本:

  • AERZEN HM 系列可選 9 種結構尺(chi)寸,在 10^-5 mbar 的**真空(kong)壓力條件下,適用(yong)的理論進氣流量范(fan)圍從(cong) 406 m3/h 到 15,570 m3/h。 產品優勢一覽:

  • 4 種不同電機(ji)變體,實現**選擇

  • 機械強度較高(HM 系列高達 230 mbar),因而大(da)幅縮短泵(beng)送時間

  • 耗水量、耗氮量低

  • 適用于凈室環境應用

  • 借助(zhu)變頻器實現較大的(de)控制范圍,各項參數針對 AERZEN 密閉式(shi)電機(ji)鼓(gu)風機(ji)進行過調(diao)整,卓有(you)成效

  • 可(ke)選擇(ze)縱(zong)向(xiang)或(huo)水平流動(dong)方向(xiang)



三(san)、性能:

AERZEN 密閉式電(dian)機鼓風機大(da)幅(fu)縮(suo)短(duan)泵送(song)時間,從而提高了(le)產量。 這是(shi)工藝優化的(de)一(yi)大(da)進步(bu)。

設計與結構

AERZEN 真(zhen)空(kong)泵(beng)的(de)殼體(ti)法蘭之處配(pei)有(you) O 形圈密(mi)(mi)封件(jian)。 風(feng)機頭還有(you)真(zhen)空(kong)密(mi)(mi)閉(bi)(bi)性和(he)空(kong)氣冷卻(que)等其(qi)他重要優勢。 由(you)濺油(you)潤滑裝(zhuang)置(zhi)提(ti)供潤滑油(you)。 礦(kuang)物油(you)和(he) PFPE 油(you)都可(ke)以(yi)作為潤滑劑,PFPE 油(you)通(tong)常用于半導體(ti)技術。 密(mi)(mi)閉(bi)(bi)式(shi)電(dian)機鼓(gu)風(feng)機在輸送室和(he)軸承室配(pei)有(you)專用的(de)矩(ju)形圓(yuan)環(huan)—迷宮—密(mi)(mi)封件(jian)。 另外還安裝(zhuang)了(le)一(yi)個配(pei)有(you)冷凝通(tong)道的(de)大尺寸中和(he)室。 或者,中和(he)室可(ke)以(yi)用密(mi)(mi)封氣體(ti)沖洗,以(yi)實現更強的(de)密(mi)(mi)封效果。 一(yi)體(ti)化(hua)密(mi)(mi)閉(bi)(bi)式(shi)電(dian)機可(ke)確保對驅(qu)動軸的(de)密(mi)(mi)封。 因此(ci)無需連接大氣的(de)軸通(tong)道,從而可(ke)以(yi)從技術上實現明顯更高的(de)轉速。


四、應用:

帶有密閉式驅動裝置的 AERZEN 鼓風機經過專門設計,可輸送中性(HM 系列)和腐蝕性(CM 系列)氣體,專用于工業高真空技術。 密閉式電機鼓風機始終結合前級泵使用*。 
此前級泵(beng)在(zai)大(da)氣壓力(li)條件(jian)下(xia)開(kai)始(shi)運行(xing)。 通常(chang)在(zai)大(da)約 50 至 200 mbar 的條件(jian)下(xia)連接密閉(bi)式電(dian)機鼓風(feng)機,然后泵(beng)送流程(cheng)啟動(dong)。 根(gen)據(ju)應用(yong)的不同(tong),可(ke)以使用(yong)液環泵(beng)、滑片式真(zhen)空泵(beng)、螺(luo)桿真(zhen)空泵(beng)或(huo)鼓風(feng)機作為前級泵(beng)。 配有 AERZEN 變頻器并使用(yong)專用(yong)參數集時,前級泵(beng)也可(ke)以在(zai)大(da)氣壓力(li)條件(jian)下(xia)運行(xing)。

應用領域

  • 半導體行業

  • 微電子工業

  • 平面屏幕制造

  • 激光技術

  • 太陽能技術

  • 氦檢漏裝置

  • 化學工藝技術

  • 箔紙和玻璃噴漆

  • 熔爐制造

  • 氫的提取

*使(shi)用帶(dai)有密(mi)閉式驅動裝置(zhi)的 AERZEN 真(zhen)空鼓風機時,必須配備額外(wai)的前級(ji)泵(beng)(多級(ji)系統)。


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